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智能数显压力传感器如何进行过载保护?
点击次数:421 发布时间:2020-12-15
  智能数显压力传感器是集压力测量、显示、控制于一体的智能控制仪表,具有操作简单,抗震性好,控制精度高,控制范围可任意调节,使用寿命长等特点。
  
  智能数显压力传感器过载保护,过载就是负荷过大,超过了设备本身的额定负载,产生的现象是电流过大,用电设备发热,线路长期过载会降低线路绝缘水平,甚至烧毁传感器设备或线路。
  
  过载保护就是即使负荷超过了额定负载也不会出现烧坏线路的情况,但是也有一个度,一般是150%的范围内,而且不能持续过载工作。
  
  数显压力传感器有很多形式,每种结构形式的过载保护都不同,例如采用MEMS技术的小量程、高灵敏压力传感器通常有平膜、岛膜、梁膜等结构,在设计过载保护时,一般采用凸台等方法实现,形成方法有背部刻蚀技术、硅直接键合技术、玻璃刻蚀技术等。然而这些结构一般都有一个很大的局限性就是腔体尺寸较大,进一步提高灵敏度受到限制,而且降低了硅片利用率,增加了制造工艺的复杂度,提高了生产成本。
  
  目前,小量程、高灵敏压力传感器的研究热点集中在牺牲层结构压力传感器,这主要是因为牺牲层结构压力传感器弹性膜片很薄,厚度可做到2μm,甚至更薄。在这样薄的结构上,如果采用扩散硅或多晶硅薄膜作为牺牲层结构压力传感器的应变电阻,其厚度相对较大,对弹性膜片应力分布影响很大,不利于牺牲层结构压力传感器的性能优化,因此采用多晶硅纳米薄膜制作应变电阻更能发挥牺牲层技术的优点。
  
  考虑到智能数显压力传感器在使用过程中可能会出现实际测量压力超过量程的状况,设计过载保护功能是不可缺少的,这样能让压力传感器使用的更久。用户在选用数显压力传感器的时候,一定要考虑数显压力传感器的过载能力,结合自己使用传感器的测量环境,选择合适的数显压力传感器。
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